4.6　二次配管配线

4.6.1　二次配管配线应包括下列管线安装：

1　各种给水、排水系统的一次管道阀门至设备接口之间的配管；

2　各种气体动力系统的一次管道阀门至设备接口之间的配管；

3　各种工艺排风、排气系统的一次管道阀门至设备接口之间的配管；

4　生产动力终端工艺母线或配电盘至设备接口之间的配管配线。

4.6.2　设备二次配管配线作业应在设备安装完成后进行，并应与设备供应商复核设备的接口位置、种类、数量、尺寸、型式等信息。

4.6.3　二次配管配线的材料宜与一次配管配线的材质一致，并应符合下列规定：

1　工艺冷却水应根据工艺设备水质要求选用，宜采用不锈钢管或PVC管，管配件及阀门宜采用与管道相同的材质；

2　管线与设备的连接方式应便于拆卸更换，对于易产生振动的设备应采用柔性连接等减少振动影响的连接方式；

3　工艺冷却水系统的温度计、压力表宜采用不锈钢材质；

4　压缩空气和氮气系统根据工艺生产线品质要求宜选用SUS304 BA或SUS316L BA管道，阀门宜选用球阀；其余大宗气体系统和特种气体系统宜采用SUS316LEP管道，阀门口径小于等于1/2"时应采用SUS316LEP隔膜阀，阀门口径大于1/2"时应采用波纹管截止阀；特种气体系统当采用双套管时，内管宜采用SUS 316L EP管道，外管宜采用SUS304 AP外抛管；

5　氧气管道、管件、垫片及其他附件都应脱脂，阀门、仪表应在制造厂已脱脂完毕；

6　化学药液输送宜采用双层管或PP管；双层管内管宜为PFA管，外管宜采用透明PVC管；阀门宜采用与管道材质相同的耐腐蚀隔膜阀和阀门箱设置方式，不宜直接设置阀门于管道上；

7　有机排风管宜采用SUS304不锈钢材料，使用氩弧焊连接；

8　酸碱排风管宜采用PVC、PP等防腐蚀材料焊接或熔接；

9　对耐蚀性、耐热性、强度有特殊要求的，宜采用不锈钢内衬特氟龙管道；

10　热排风介质温度大于55℃时，应对管路设置绝热层，绝热材料不得采用易破碎、掉渣和对人体有刺激作用的材质；阀门应采用与排风管相同的材质；

11　纯水管路材质宜采用PVDF、PP、PFA、CLPVC；

12　温度大于80℃的酸碱排水不宜采用PVC、PP管道接管，可采用化工PVC；采用PP管时不得直接排放；

13　含有高浓度氢氟酸、硝酸的排水管道，宜采用双层管道，内管宜为PVDF管或PP管，外管宜采用透明PVC管；

14　洁净室内的电气配管宜采用外表面光滑的金属管，与设备连接采用的穿线软管应为不燃材料；

15　特种气体、大宗气体、纯水和化学品系统的二次配管配线安装工程应符合现行国家标准《特种气体系统工程技术规范》GB 50646、《大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》GB 50724、《电子工业纯水系统设计规范》GB 50685和《电子工业化学品系统工程技术规范》GB 50781的有关规定。

4.6.4　二次配管配线施工时，应根据现场实际情况进行空间整合优化设计，使管线排列整齐、美观，走向合理，维修方便，不得在操作面布设管线。

4.6.5　当在活动地板上开孔时，应符合现行国家标准《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》GB 50467的有关规定。

4.6.6　洁净室内的二次配管配线安装需开洞时，不得影响承重结构，且开洞时不得对洁净室造成污染。

4.6.7　二次配管应采用专用设备对管道进行平口、切割、焊接作业。

4.6.8　洁净室内不宜进行电焊作业，特殊情况应采取有效的防护措施；在保证及时防护、及时清理，不污染洁净室的情况下，宜优先使用氩弧焊进行焊接作业；输送大宗气体、非腐蚀性溶剂的不锈钢管，当采用焊接连接时，应采用钨极氩弧焊机施焊，且其保护气体的纯度不应低于管网本底气体的纯度。

4.6.9　不锈钢管焊接质量应符合下列规定：

1　两管端应垂直于管中心轴线，端面应平整光滑、无毛刺；

2　对口不得有间隙，直径小于或等于2英寸的不锈钢管，错边量不得大于管壁厚度的10%；直径大于2英寸的不锈钢管，错边量不得大于管壁厚度的15%；

3　焊接应为自熔全焊透焊缝，管内外焊缝平整光滑，焊波整齐美观。焊缝的凹凸不平度不得大于管壁厚度的10%；

4　焊缝应焊趾整齐，焊缝宽度应一致，其误差不得大于0.2mm，管内焊缝表面宽度宜为外缝表面宽度的60%；

5　管内、外焊缝表面不得有气孔、裂纹等缺陷，管内焊缝及热影响区不应有氧化变色。

4.6.10　PVC管粘接应符合下列规定：

1　应选用管材生产厂家配套的专用胶水和清洁剂；胶水与管材应相匹配，与使用说明一致；

2　室外温度低于5℃时，胶水应保存在室内；

3　粘接后管路两端应开放通风；

4　管路粘接后，胶水固化时间应符合说明书要求，达到设计强度方可进行通水试压。

4.6.11　高纯介质二次配管时，管道预制作业应在专门防尘、防静电的洁净小室内进行，加工件经洁净处理后密封搬入洁净厂房内进行安装，洁净小室的空气洁净度等级宜采用8级。

4.6.12　二次配管支、吊架安装应牢固可靠，并应符合下列规定：

1　二次配管支、吊架宜采用碳钢镀锌或不锈钢材料，切割断面应做防腐处理；

2　管卡应与管道直径相匹配；

3　不锈钢管与碳钢支架、管卡之间应分别设置隔离垫和隔离套管，隔离垫宜采用软质聚四氟乙烯板，套管宜采用聚乙烯软管。

4.6.13　二次配管标识应与一次配管配线标识一致。

4.6.14　二次配管进行压力试验时，应符合下列规定：

1　试验介质应采用高纯氮气或高纯氩气，其纯度不得低于管道工作介质纯度；

2　不得采用水压试验；

3　待试管道与生产设备无关系统应采用盲板或采取其他措施隔开，待试管道上的安全阀、爆破板及仪表元件应拆下或隔离；

4　试验用压力表宜采用专用管道压力测试记录仪，当采用普通压力表时，其精度不应低于1.5级；

5　介质为氢气、酸碱药液等具有危险性、腐蚀性的二次配管安装完成后必须进行压力试验；

6　压力试验应分为强度试验和气密性试验；强度试验应采用设计压力的1.15倍，保压30m in无损坏、无泄漏为合格；气密性试验应采用设计压力的1.05倍，保压24h无压降、无泄漏为合格；

7　二次配管压力试验开始时应测量试验温度，试验温度严禁选择材料脆性转变的温度。

4.6.15　二次配管安装完成后，宜做泄漏试验。

4.6.16　二次配管试验完成后，应填写设备配管检验批质量验收记录。

4.6.17　当设计文件规定以氦气进行泄漏性试验时，应符合现行国家标准《无损检测氦泄漏检测方法》GB/T 15823的有关规定。

4.6.18　二次配管压力试验完成后，应脱开设备进行吹扫。吹扫气体的纯度不应低于管网输送介质的纯度。