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参考文献
[1]施敏，伍国钰.半导体器件物理 [M].3版.耿莉，张瑞智，译.西安：西安交通大学出版社，2013.
[2]斯蒂芬·A.坎贝尔.微电子制造科学原理与工程技术 [M].2版.曾莹，译.北京：电子工业出版社，2003.
[3]IRIN J C.Resistivity of Bulk Silicon and Diffused Layers in Silicon [J].Bell Syst.Tech.，1962，41（2）：387-410.
[1]施敏，伍国钰.半导体器件物理 [M].3版.耿莉，张瑞智，译.西安：西安交通大学出版社，2013.
[2]斯蒂芬·A.坎贝尔.微电子制造科学原理与工程技术 [M].2版.曾莹，译.北京：电子工业出版社，2003.
[3]IRIN J C.Resistivity of Bulk Silicon and Diffused Layers in Silicon [J].Bell Syst.Tech.，1962，41（2）：387-410.